Máy đánh bóng cơ khí dòng MP
Máy đánh bóng cơ học dòng LSTD MP được phát triển để đáp ứng yêu cầu đánh bóng nhanh các vật liệu siêu cứng. Thiết bị sử dụng tấm kim loại mềm hoặc tấm composite và bùn kim cương với kích thước hạt cụ thể, có thể làm cho phôi được xử lý tiếp cận bề mặt gương một cách nhanh chóng. Một ưu điểm đáng kể khác của đánh bóng cơ học là với tiền đề kiểm soát tốt hình dạng tấm, nó có thể thu được bề mặt phôi rất phẳng mà hầu như không bị xẹp cạnh. Đối với phôi (wafer) có ứng dụng epiticular, sau khi đánh bóng cơ học, thời gian xử lý đánh bóng cơ học hóa học có thể được rút ngắn đáng kể và chi phí cũng giảm xuống. Máy đánh bóng cơ học hóa học dòng MP có thể được sử dụng để đánh bóng cơ học các tấm bán dẫn siêu cứng khác nhau như sapphire, cacbua silic và kim cương, cũng như đánh bóng các vật liệu siêu cứng khác như gốm sứ, cacbua xi măng và thép tôi.
Giống như máy đánh bóng cơ học hóa học dòng CP:
Máy đánh bóng cơ học dòng MP cũng được chia làm 3 model giống nhau: loại cơ bản, loại dẫn động trung tâm đĩa áp (loại CD) và loại dẫn động độc lập với đĩa áp (loại IDP) (xem trang 4; máy đánh bóng cơ dòng MP có cấu tạo tương tự CP Máy đánh bóng cơ học hóa học dòng MP, nhưng để đáp ứng nhu cầu đánh bóng cơ học, máy đánh bóng cơ học dòng MP được trang bị hệ thống tiện tấm đánh bóng để tạo rãnh cho các tấm.
Máy đánh bóng cơ khí loại IDP:
Máy đánh bóng cơ học loại IDP cũng có thể cải thiện hơn nữa độ chính xác đánh bóng cơ học bằng cách tích hợp chức năng xoay của tấm áp lực; Để giải quyết các vấn đề về biến dạng giãn nở và giảm độ cứng của tấm đánh bóng do nhiệt sinh ra khi đánh bóng cơ học, LSTD đã phát triển một công nghệ mới và xin cấp bằng sáng chế có thể kiểm soát hiệu quả nhiệt độ bề mặt tấm, hình dạng tấm và độ cứng của tấm; Để đánh bóng cơ học các vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba như cacbua silic, kim cương và các tấm bán dẫn khác, công nghệ này có thể giải quyết hiệu quả các vấn đề về hiệu quả và độ chính xác của việc đánh bóng cơ học.
Máy đánh bóng cơ khí dòng BASIC TYPE MP
Loại và thông số kỹ thuật | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Đường kính tấm đánh bóng | 381mm | 460mm | 598mm | 796mm | 898mm | 1262mm | 1480mm |
Đường kính tấm áp lực | 139mm | 150mm | 240mm | 304,8mm | 360mm/355mm | 485mm | 576mm |
Số tấm áp lực | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Tấm đánh bóng RPM | 10~160 vòng/phút | 10~160 vòng/phút | 10~115 vòng/phút | 10~87 vòng/phút | 10-80vòng/phút | 10~64 vòng/phút | 10-54vòng/phút |
Áp suất đánh bóng (tối đa) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg | 320kg | 560kg | 760kg |
Công suất động cơ | 0,75kw | 1,5kw | 3kw | 5,5KW | 11kw | 22kw | 35kw |
Nguồn cấp | 3PH,380V,50Hz | ||||||
Kích thước | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Trọng lượng xấp xỉ..) | 420kg | 720kg | 1080kg | 2200kg | 2400kg | 7300kg | 9500kg |
Khả năng tải wafer | 2"-4chiếc/con 2"-3chiếc/đầu(V) | 2"-5chiếc/con 2"-4chiếc/đầu(V) | 2"-10chiếc/con 4"-3chiếc/con | 2"-14chiếc/con 4"-5chiếc/con 5"-3chiếc/con | 4"-7chiếc/con 5"-5chiếc/con 6"-3chiếc/con | 5"-8chiếc/con 6"-6chiếc/con 8"-3chiếc/con | 6"-8chiếc/con 8"-5chiếc/con |
Máy đánh bóng cơ khí dòng CD TYPE MP
Loại và thông số kỹ thuật | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Đường kính tấm đánh bóng | 381mm | 460mm | 598mm | 796mm |
Đường kính tấm áp lực | 139mm | 150mm | 240mm | 304,8mm |
Số tấm áp lực | 3 | 4 | 4 | 4 |
Tấm đánh bóng RPM | 10~160 vòng/phút | 10~160 vòng/phút | 10~115 vòng/phút | 10~87 vòng/phút |
Áp suất đánh bóng (tối đa) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg |
Công suất động cơ điều khiển trung tâm | 400W | 750KW | 1KW | 1,5KW |
Công suất động cơ chính | 0,75kw | 1,5KW | 3kw | 5,5KW |
Nguồn cấp | 3PH,380V,50Hz | |||
Kích thước | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Trọng lượng xấp xỉ..) | 420kg | 720kg | 1080kg | 2200kg |
Khả năng tải wafer | 2"-4chiếc/con | 2"-5chiếc/con | 2"-10chiếc/con 4"-3chiếc/con | 2"-14chiếc/con 4"-5chiếc/con 5"-3chiếc/con |
Loại và thông số kỹ thuật | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Đường kính tấm đánh bóng | 898mm | 1262mm | 1480mm |
Đường kính tấm áp lực | 360mm / 355mm | 485mm | 576mm |
Số tấm áp lực | 4 | 4 | 4 |
Tấm đánh bóng RPM | 10-80vòng/phút | 10~64 vòng/phút | 10-54vòng/phút |
Áp suất đánh bóng (tối đa) | 320kg | 560kg | 760kg |
Công suất động cơ điều khiển trung tâm | 2KW | 3,5KW | 5,5KW |
Công suất động cơ chính | 11kw | 22kw | 35kw |
Nguồn cấp | 3PH,380V,50Hz | ||
Kích thước | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Trọng lượng xấp xỉ..) | 2400kg | 7300kg | 9500kg |
Khả năng tải wafer | 4"-7chiếc/con 5"-5chiếc/con 6"-3chiếc/con | 5"-8chiếc/con 6"-6chiếc/con 8"-3chiếc/con | 6"-8chiếc/con 8"5 cái/đầu |
Máy đánh bóng cơ khí dòng IDP TYPE MP
Loại và thông số kỹ thuật | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Đường kính tấm đánh bóng | 381mm | 460mm | 598mm | 796mm |
Đường kính tấm áp lực | 139mm | 150mm | 240mm | 304,8mm |
Số tấm áp lực | 3 | 3 | 4 | 4 |
Tấm đánh bóng RPM | 10~160 vòng/phút | 10~160 vòng/phút | 10~115 vòng/phút | 10~87 vòng/phút |
Áp suất đánh bóng (tối đa) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg |
Công suất động cơ điều khiển bằng tấm áp suất | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
Tốc độ quay tấm áp suất | 0~200 vòng/phút | 0~200 vòng/phút | 0~100 vòng/phút | 0~100 vòng/phút |
Công suất động cơ chính | 0,75kw | 1,5kw | 3kw | 5,5KW |
Nguồn cấp | 3PH,380V,50Hz | |||
Kích thước | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Trọng lượng xấp xỉ..) | 350kg | 350kg | 980kg | 1800kg |
Khả năng tải wafer | 2"-4chiếc/con | 2"-4chiếc/con | 2"-10chiếc/con 4"-3chiếc/con | 2"-14chiếc/con 4"-5chiếc/con 5"-3chiếc/con |
Loại và thông số kỹ thuật | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Đường kính tấm đánh bóng | 898mm | 1262mm | 1480mm |
Đường kính tấm áp lực | 360mm / 355mm | 485mm | 576mm |
Số tấm áp lực | 4 | 4 | 4 |
Tấm đánh bóng RPM | 10-80vòng/phút | 10~64 vòng/phút | 10-54vòng/phút |
Áp suất đánh bóng (tối đa) | 320kg | 560kg | 760kg |
Công suất động cơ điều khiển bằng tấm áp suất | 2KW | 1KW | 1,3KW |
Tốc độ quay tấm áp suất | 2KW | 0~100 vòng/phút | 0~100 vòng/phút |
Công suất động cơ chính | 11kw | 22kw | 35kw |
Nguồn cấp | 3PH,380V,50Hz | ||
Kích thước | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Trọng lượng xấp xỉ..) | 2200kg | 7000kg | 8600kg |
Khả năng tải wafer | 4"-7chiếc/con 5"-5chiếc/con 6"-3chiếc/con | 5"-8chiếc/con 6"-6chiếc/con 8"-3chiếc/con | 6"-8chiếc/con 8"5 cái/đầu |
Chú phổ biến: Máy đánh bóng cơ khí dòng mp, Trung Quốc nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất máy đánh bóng cơ khí dòng mp
Một cặp
Miễn phíTiếp theo
Miễn phíBạn cũng có thể thích
Gửi yêu cầu