Thiết bị CMP Series được phát triển độc lập bởi các nhà sản xuất vật liệu bán dẫn cung cấp LSTD như SI, SIC, GAA, LNP, GaN, CDTE, Diamond, v.v. Thiết bị tái chế wafer đã tham gia nhiều công ty sản xuất bán dẫn như SMIC; Dây chuyền sản xuất tự động cho đánh bóng cacbua silicon sẽ được chuyển đến nhà máy của khách hàng để sản xuất thử nghiệm trong Q 1 2024;
Trên cơ sở phòng thí nghiệm ban đầu, hàng triệu nhân dân tệ sẽ được đầu tư để xây dựng 100000 cấp độ, 10000, và 100 phòng sạch cấp và thiết bị thử nghiệm chính xác, sẽ được kiểm tra và sử dụng vào nửa cuối năm 2024.
6 "/8" Dòng đánh bóng sic wafer
6 "/8" sic wafer
Phòng vệ sinh 100 lớp
Máy làm sạch đa khe
Khả năng kiểm tra
